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对电子:上面公式不成立,漂移速度与约化场强不 成正比。 BF3+CHa l0 Ar+CH4(309% Ar+Co2(5%) H2 Ar +'2 /V/(133cmXPa)] 电子在气体中的漂移速度 漂移速度约为106厘米/秒,比离子大3个量级。 漂移速度对气体的成分很敏感。通常在单原子分子气体中加入 少量多原子分子气体来提高电子的漂移速度。对电子:上面公式不成立,漂移速度与约化场强不 成正比。 • 漂移速度约为106厘米/秒,比离子大3个量级。 • 漂移速度对气体的成分很敏感。通常在单原子分子气体中加入 少量多原子分子气体来提高电子的漂移速度
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