第3章应变式传感 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的 金属箔栅,其厚度一般在0.003~0.0mm。其优点是散热条件 好,允许通过的电流较大,可制成各种所需的形状,便于批量生 薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝 缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅,最后再加 上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大,允许电流密度大, 工作范围广。 半导体应变片是用半导体材料制成的,其工作原理是基于 半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应,是指半导体材料在 某一轴向受外力作用时,其电阻率p发生变化的现象 半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化为第3章 应变式传感器 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的 金属箔栅, 其厚度一般在0.003～0.01mm。其优点是散热条件 好, 允许通过的电流较大, 可制成各种所需的形状, 便于批量生 产。薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝 缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅, 最后再加 上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大, 允许电流密度大, 工作范围广。 半导体应变片是用半导体材料制成的, 其工作原理是基于 半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应，是指半导体材料在 某一轴向受外力作用时, 其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片受轴向力作用时, 其电阻相对变化为