电子束与固体作用时产生的信号 样品原子序数对作用范围的影响 The size of the interaction volume decreases as the average atomic number of the material increases Note also the shape change BSE BSE BSE (Z>Z) Fe(亿=26) Ag(Z=47) Monte Carlo simulations for a 20 keV incident beam c26) 1212 电子束与固体作用时产生的信号 • 样品原子序数对作用范围的影响