21概述 2.11基本概念 1)作用 检测位移和速度,发送反馈信号至控制装置,构成伺服系统 的闭环或半闭环控制,使工作台等被控对象按指令的路径 精确地移动。 2)检测装置的精度 系统精度:在一定长度或转角范围内测量累积误差的最大 分辨率:位置检测系统能够测量的最小位移量。2.1 概述 1）作用 检测位移和速度，发送反馈信号至控制装置，构成伺服系统 的闭环或半闭环控制，使工作台等被控对象按指令的路径 精确地移动。 2）检测装置的精度 ➢ 系统精度：在一定长度或转角范围内测量累积误差的最大 值。 ➢ 分辨率：位置检测系统能够测量的最小位移量。 2.1.1 基本概念