(二)真空系统 1·机械泵 2·扩散泵 3.为什么要求真空? 气体分子与高速运动的电子碰撞,发生散 射,引起弦光并使成像的反差偏低;气体电离 放电,电子束不稳定;气体还会污染样品表面, 降低成像的质量;灼热的灯丝遇会受腐蚀而容 易断裂(二)真空系统 • l·机械泵 • 2·扩散泵 • 3．为什么要求真空? • 气体分子与高速运动的电子碰撞，发生散 射，引起弦光并使成像的反差偏低；气体电离 放电，电子束不稳定；气体还会污染样品表面， 降低成像的质量；灼热的灯丝遇会受腐蚀而容 易断裂