超声波加工 0 4 磨料液:4工件(单晶硅)4导向片:5软钢刀片聊钉 变幅杆;2—工具(薄钢片);1——变幅杆;2—-焊缝;3--4 (a)超声切割单晶硅片示意图 (b)刀具 (c)切割成的陶瓷模块 图5超声波切割加工超声波加工 图5 超声波切割加工 1 2 3 4 5 4 3 2 1 (a) 超 声 切 割 单 晶 硅 片 示 意 图 1—变幅 杆； 2—工 具 (薄钢 片 )； 3—磨料 液； 4—工 件 (单晶 硅 ) (b) 刀 具 1—变幅 杆； 2—焊缝 ； 3—铆钉 ； 4—导向 片； 5—软钢 刀片 (c) 切 割 成 的 陶 瓷 模 块