8.3微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 MEMS/NEMS器件在化工领域的广泛应用： 微混合器 微化学分析仪器 微反应器 微型换热器 微分离器 微型萃取器 微型泵和微阀等8.3 微反应器 8.3.1 概述 MEMS/NEMS器件在化工领域的广泛应用： 微混合器 微反应器 微化学分析仪器 微型换热器 过程设备设计 7 微反应器 微分离器 微型换热器 微型萃取器 微型泵和微阀等