8.3微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 MEMS/NEMS器件的优点： 尺寸小 精度高 重量轻 性能好 响应快 集控制、感应和执行于一体 68.3 微反应器 8.3.1 概述 MEMS/NEMS器件的优点： 尺寸小 重量轻 精度高 性能好 过程设备设计 6 重量轻 响应快 性能好 集控制、感应和执行于一体 、感应和执行于一体