83微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 技术发展的代表：纳米材料以及微/纳电子机械系统 (Micro/Nano Electro Mechanical Systems,简称 MEMS/NEMS) MEMS/NEMS:一般是指以集成电路等工艺批量制作 的集微/纳型机构、传感器、执行器及信号处理和控制 电路等于一体的装置 作用：通过微型化和集成化，来探索新原理、开发新 功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成一个 新产业8.3 微反应器 8.3.1 概述 技术发展的代表：纳米材料以及微 ：纳米材料以及微/纳电子机械系统 （ Micro/Nano Electro Mechanical Systems ， 简 称 MEMS/NEMS） 过程设备设计 5 作用：通过微型化和集成化 ：通过微型化和集成化，来探索新原理 ，来探索新原理、开发新 功能的元件和系统，开辟一个新技术领域 ，开辟一个新技术领域，形成一个 新产业 MEMS/NEMS：一般是指以集成电路等工艺批量制作 的集微/纳型机构、传感器、执行器及信号处理和控制 、执行器及信号处理和控制 电路等于一体的装置