镀膜室为钟罩形（见图7），一般用不锈钢制成，钟罩上有观察窗，便于观察工作室内 蒸发溅射等物理现象。镀膜室内装有二对电阻加热电极，可以选择使用，功率大小由电压 调节实现，因需要很大的加热电流，为减小电阻，电极用紫铜制成。镀膜室装有离子轰击 电极，当真空度达到若干帕时 衣洁经升压救流后给到直室东击由极上稀滴体 发生辉光放电， 产生大量离了 这些离子撞击基片表面与真空室壁，起到清洁表面、提 真空度的作用.镀膜室内备有直流溅射装置，高压由底板上通过高压电极引入，经接线相 与阴极联接，藏射功率通过电压调节实现。镀膜时样品架可通过电机减速实现低速转动， 以使膜层达到均匀。金属或非金属在蒸发前均要进行预熔，以便清除材质内的杂质。真空 室内有可转动的挡板，用于预熔时遮挡杂质。 样品架 ,旋转机构 观察窗 钟罩 0型图 子预抽阀 等磁放气闲 主阀 机械泵 油扩散泵 图7小型真空薄膜制备系统 【实验内容】 1。实验前请检查各阀门所处状态 低阀：推进 高阀：关 双热偶程控复合真空计：自动启动 2.准备 -28 镀膜室为钟罩形（见图 7），一般用不锈钢制成，钟罩上有观察窗，便于观察工作室内 蒸发溅射等物理现象．镀膜室内装有二对电阻加热电极，可以选择使用，功率大小由电压 调节实现，因需要很大的加热电流，为减小电阻，电极用紫铜制成．镀膜室装有离子轰击 电极，当真空度达到若干帕时，交流电经升压整流后输送到真空室轰击电极上，稀薄气体 发生辉光放电，产生大量离子，这些离子撞击基片表面与真空室壁，起到清洁表面、提高 真空度的作用．镀膜室内备有直流溅射装置，高压由底板上通过高压电极引入，经接线柱 与阴极联接，溅射功率通过电压调节实现．镀膜时样品架可通过电机减速实现低速转动， 以使膜层达到均匀．金属或非金属在蒸发前均要进行预熔，以便清除材质内的杂质，真空 室内有可转动的挡板，用于预熔时遮挡杂质． 机械泵 电磁放气阀 预抽阀 主阀 真空 规管 电磁充气阀 油扩散泵 前级阀 挡板 样品架 旋转机构 溅射 观察窗 电极 蒸发 电极 O型圈 钟罩 图 7 小型真空薄膜制备系统 【实验内容】 1．实验前请检查各阀门所处状态 低阀：推进 高阀：关 双热偶程控复合真空计：自动启动 2．准备 - 28 -