15 PV ()茗量 3.5 形 1.5 5 1100(℃ 1653555（分) 900w…1000 湿度(T) 时闲()： 图1涂层厚度和沉积时问的关系 图2涂层厚度和沉积温度的关系 涂层厚度和温度关系示于表2及图2。由【：可见，涂层厚度也随沉积温度增加而增长。低 温增加较小，超过1000°C后增长很快。和沉积时间比较，沉积温度对沉积迅速有较大的影 响。以后将说明，在我们的条件下沉积反应是在动力学区进行，所以对温度有较大的敏感。也 即温度增加，反应增加较快，所以厚度也增长较多。 2.涂层结构 涂层产物进行电子探针和X光衍射分析表明，在基体和涂层间生成了一扩散层，其厚度 随沉积条件不同而异。由分析可知，该层的元素组成为Ni、Cr、Ta、Al等，由X光衍射分 析表明涂层钽和基体中的元素镍生成了中间化合物Ni3Ta和NiTa,以及少量的TaCr2 TaAI3。后者文献中并木报导。这可能是基体合金元素含量不同而造成的。我们实验用的镍 基合金(GH128)其成份如表3所示。由于以上这些中间化合物的存在，使涂层物一钽和基 体结合得非常牢固。 表3 镍基合金GH128成份(%) Ni C Si Mn Cr Ti AI W 61.3~54.4 ≤0.05 ≤0.8 ≤0.5 19~22 0.40.8 0.4~0.87.5~9.0 Mo B CI Fe S P Zr 7.59.0 0.005 0.05 2.5 ≤0.003 ≤0.013 0.05 由电子探针分析（儿图3）可见，当涂层厚度达8一【04以后，再继续沉积，涂层物可金 部为纯们层。 3.涂层的形貌及粒度： bI， 一讼 ︸ 健 ， ，侧 · 蕊妓迷 娜 一 尹 甘应 ︶凌把述 、 ， 小 别 勺七 ‘ 冬 ‘ ， ‘ 分 温度 、 图 涂 层 厚 度和 沉积 时 间的 关 系 时 阁 一 ’ 一 图 涂 层 厚 度和 沉积 温 度 的 关 系 涂 层厚 度 和温度 关 系示 于表 及 图 。 田 卜可见 ， 涂 层厚 度也 随沉 积温 度增 加 而增 长 。 低 温增加较小 ， 超过 后增长很 快 。 和沉 积时 间比 较 ， 沉积温 度对沉 积迅速 有 较 大 的影 响 。 以后将 说 明 ， 在 我们的 条件下沉 积 反应是在 动 力学区进 行 ，所 以对温 度 有较大 的 徽感 。 也 即温 度增 加 ， 反应增加较 快 ， 所 以厚度也增 长较 多 。 涂 层结 构 涂 层 产物进 行 电 子探 针 和 光 衍 射分析表 明 ， 在基 体 和涂层 间生 成 了一扩散 层 ， 其厚 度 随沉 积 条件 不 同而异 。 由分析 可 知 ， 该层 的元素组 成 为 、 、 、 等 ， 由 光 衍射 分 析表 明涂 层担 和基 体 中的 元 素镍 生 成 了中间化 合物 和 ， 以 及 少 量 的 。 后者 文献 中并 未报导 。 这可 能是基 体合金 元素含量不 同而 造 成的 。 我们实验 用的镍 基 合金 其 成 份如 表 所 示 。 由于 以 上 这 些 中间化 合物 的存在 ， 使涂 层 物一担 和基 体 结 合得 非常 牢固 。 表 镍甚合金 成份 ‘ … 《 《 《 《 叫川 《 簇 由电子探 针分析 兑图 可 见 ， 当涂层 厚度 达 一 印祥以后 ， 再继续沉 积 ， 涂 层物 可全 部 为纯钮 层 。 ‘ 涂 层 形 倪 及粒 度