涂钽层在熔融氟化物混合盐中耐蚀性能的研究

D0I:10.13374/j.issm1001-053x.1985.02.006 北京铜铁学院学报 1985年第2期 涂钽层在熔融氟化物混合盐中耐 蚀性能的研究 稀有教研室 张长鑫卢燕平 摘要 涂组的镍基合金在9O0'C熔融的KTa,一RF一NaF系混合盐里瑞蚀实验表明，涂钽层的耐腐蚀性能比纯相高，这和基 体的合金元素有关，涂层样品经金相、电镜、电子探针观测证明，沉积湿度1050~C时的涂钽层酮氟化物格体蘅蚀较为理 有不少治金、化工、军工等生产都是在一定熔盐介质的容器中完成的。如治金上制取金 属钽、铌和稀土金属等就是应用它们的氟络盐、氟化物、氯化物在一定的容器中完成的。但 制得的这些金属在不同程度上被容器所污染，原子能反应堆里的结构材料，同样如也此。如何 防止这些熔体对金属容器的侵蚀，是个重要的课题。治金上的反应器一般都用镍、镍基合金或 耐热钢制成，它们既耐高温.又对各种熔盐有一定的抗腐蚀性。但这些材料在8)0~900°C高温 下还是要受到熔盐的腐蚀，使N、F及其它合金元素进入金属里，重地沾污了产物。通 常解决这个问题的最简单的方法是涂层，就是在容器的内壁上涂上要制取的金属或者别的防 腐材料，我们采用了化学汽相沉积(CVD)的方法E镍基台金上涂层但，来阻止Ni、F€等元 素进人产物。经过一系列的实践，政得了较为满意的结果。 一、冻层产物分析 1.涂层摩度 涂层厚度随沉积时间的增加而增加、45分钟后增加较快，可见表1、图1。 表1 涂层厚度与时间关系(1000°C沉积) t(分) 15 30 50 60 d (um) 7.0 8.0 8.5 10.1 表2 不同温度下的涂层厚度 T(C) 900 1000 1050 1100 d (um) 5.75 6.75 12.00 17.50 60

北 京 祝 铁 学 院 学 报 年 第 期 涂担层在熔融氟化物混合盐中耐 蚀 性 能 的 研 究 稀 有教研室 张长鑫 卢燕平 摘 要 涂担的镍基合金在 “ 熔融的 卜 一 一 系混合盐里腐蚀实验表明 ， 涂钩层 的耐腐蚀性能 比纯担高 ， 这和 基 沐的合 金元素有关 涂层样品 经 金相 、 电镜 、 电予探针 观 测证明 ， 沉积 温度 ’ 时的涂袒层 耐 氟化物熔体腐蚀较为理 想 有不 少冶金 、 化 工 、 军工等生 产都是 在一定熔 盐介质 的容 器 中完 成的 。 如 冶金 上制取金 属钮 、 妮 和稀 土金 属等就是 应 用它 们的氟 络 盐 、 氟 化物 、 氯化物 在一定 的容 器 中完成的 。 但 制 得的这些金 属 在不 同 程 度上被容器所污 染 ， 原子能 反应堆里 的结构 材料 ， 同样如 也此 。 如何 防 止这些熔体 对金 属容 器 的侵 蚀 ， 是个 重要 的课 题 。 冶金 上 的 反应器 一 般都 用镍 、 镍基 合金或 耐热钢 制成 ， 它 们既 耐 高温 ， 又 对各种熔 盐 有 一 定 的抗 腐蚀性 。 但 这些 材料在 “ 高温 下还是要 受到熔 盐的腐蚀 ， 使 、 及其它 合金 元素进入 金 属 里 ， 严 重地沾 污 了产物 。 通 常解袂 这个 问题 的最简单 的方 法是 涂 层 ， 就是 在容 器 的 内壁上 涂上要制 取 的金 属或者 别 的防 腐材 料 。 我们 采 用 了化 学汽相沉 积 的方 法 在镍基 合金上 涂层坦 ， 来 阻 止 、 等 元 素进 入 产物 。 经过 一 系列 沟实践 ， 取 得 了较为 满意 的 结 果 。 一 、 涂 层 产 物 分 析 涂层厚度 涂 层厚 度随沉 积时 间的增加 而 增加 、 分 钟后 增 加较 快 ， 可见表 、 图 。 表 吃 ” 侧曰 口 目 ‘ 卜 目曰 户 肋 ， ，日口， ，目 廿 护 ‘ 护 ‘ 门 彻 ‘ ，已 ‘ 涂 层厚度与时 间关系 “ 沉积 分 群 不 同温度下 的涂层 厚度 “ 刀 一 一 一 宜一 一 一肠‘ 盔‘ 曰 ‘ ‘ 一由‘ ‘ 曰 ‘ ‘ 曰 脚 ‘ 山 一一油钾 一 一一 一一一 一 加‘ 有 DOI ：10．13374／j ．issn1001－053x．1985．02．006

15 PV ()茗量 3.5 形 1.5 5 1100(℃ 1653555（分) 900w…1000 湿度(T) 时闲()： 图1涂层厚度和沉积时问的关系 图2涂层厚度和沉积温度的关系 涂层厚度和温度关系示于表2及图2。由【：可见，涂层厚度也随沉积温度增加而增长。低 温增加较小，超过1000°C后增长很快。和沉积时间比较，沉积温度对沉积迅速有较大的影 响。以后将说明，在我们的条件下沉积反应是在动力学区进行，所以对温度有较大的敏感。也 即温度增加，反应增加较快，所以厚度也增长较多。 2.涂层结构 涂层产物进行电子探针和X光衍射分析表明，在基体和涂层间生成了一扩散层，其厚度 随沉积条件不同而异。由分析可知，该层的元素组成为Ni、Cr、Ta、Al等，由X光衍射分 析表明涂层钽和基体中的元素镍生成了中间化合物Ni3Ta和NiTa,以及少量的TaCr2 TaAI3。后者文献中并木报导。这可能是基体合金元素含量不同而造成的。我们实验用的镍 基合金(GH128)其成份如表3所示。由于以上这些中间化合物的存在，使涂层物一钽和基 体结合得非常牢固。 表3 镍基合金GH128成份(%) Ni C Si Mn Cr Ti AI W 61.3~54.4 ≤0.05 ≤0.8 ≤0.5 19~22 0.40.8 0.4~0.87.5~9.0 Mo B CI Fe S P Zr 7.59.0 0.005 0.05 2.5 ≤0.003 ≤0.013 0.05 由电子探针分析（儿图3）可见，当涂层厚度达8一【04以后，再继续沉积，涂层物可金 部为纯们层。 3.涂层的形貌及粒度： bI

， 一讼 ︸ 健 ， ，侧 · 蕊妓迷 娜 一 尹 甘应 ︶凌把述 、 ， 小 别 勺七 ‘ 冬 ‘ ， ‘ 分 温度 、 图 涂 层 厚 度和 沉积 时 间的 关 系 时 阁 一 ’ 一 图 涂 层 厚 度和 沉积 温 度 的 关 系 涂 层厚 度 和温度 关 系示 于表 及 图 。 田 卜可见 ， 涂 层厚 度也 随沉 积温 度增 加 而增 长 。 低 温增加较小 ， 超过 后增长很 快 。 和沉 积时 间比 较 ， 沉积温 度对沉 积迅速 有 较 大 的影 响 。 以后将 说 明 ， 在 我们的 条件下沉 积 反应是在 动 力学区进 行 ，所 以对温 度 有较大 的 徽感 。 也 即温 度增 加 ， 反应增加较 快 ， 所 以厚度也增 长较 多 。 涂 层结 构 涂 层 产物进 行 电 子探 针 和 光 衍 射分析表 明 ， 在基 体 和涂层 间生 成 了一扩散 层 ， 其厚 度 随沉 积 条件 不 同而异 。 由分析 可 知 ， 该层 的元素组 成 为 、 、 、 等 ， 由 光 衍射 分 析表 明涂 层担 和基 体 中的 元 素镍 生 成 了中间化 合物 和 ， 以 及 少 量 的 。 后者 文献 中并 未报导 。 这可 能是基 体合金 元素含量不 同而 造 成的 。 我们实验 用的镍 基 合金 其 成 份如 表 所 示 。 由于 以 上 这 些 中间化 合物 的存在 ， 使涂 层 物一担 和基 体 结 合得 非常 牢固 。 表 镍甚合金 成份 ‘ … 《 《 《 《 叫川 《 簇 由电子探 针分析 兑图 可 见 ， 当涂层 厚度 达 一 印祥以后 ， 再继续沉 积 ， 涂 层物 可全 部 为纯钮 层 。 ‘ 涂 层 形 倪 及粒 度

◆徐十体 一涂层基体 ()充 .Ta 10 2030 0 102030 9 102030 01020 (μ) (um (M) 距表面的距离 距表面的距离 (i 基体 基体 涂层 +涂层 涂层十基体 +涂层中基体 (k)和来火 Ta hwiMit 1020 0 102030 0 10 203前 0 02030一 (μm) (μm) (μm) 距表面的距离 距表面的距离 () 图3但涂层物的电子探针分折 (1)沉积温度900℃()沉积温度10心0：()沉积温度100()沉积温度110( 62

基体 涂 层 剑形次孩︶嗽 侧装形长伙 卜 距农面的资离 砰 阵 距表面的距 离 ” 十 荃体 ‘ 石 凡龟卜 次说报越喊二， 彩浓暇︵创暇 卜 卜 距 表面的距 离 协 逆表面的距离 ， 沉积 温 度， 之 图 沉 积温 度 担 涂层 物 的 电子 探针 分析 沉积 温 度 。 〔 沉积 温 度

9 (a) 苦 美美机名 908580757065G0555045403530252020 年 军 (b) 慕 诗年 AA 90858075706560555045403530252020 (c) N 为 12 目 90858075706560555045403530252020 足 (d) mM 5 U 90,858075706560555045403530252020 图4不同沉积时i的钽涂层x光衍强度谱线(Cu靶.40kv.35mA.Rm=4×103C/S)（a)15分绅(1000.C) (b)30分钟(1000心)(C)50分钟(1000'C)(d)60分钟(1000'C) 63

协汾份 责前育萍沛有几而丽。 ” 骊 伪爪柑叫 东 咯饱 ‘ 嚼，凡陷 刊 、 协呀付自 仲色 。‘ 卜，心 户户 赞户 排爪鲜 鹉 … 嘴 ‘ 几 ‘ 己 几 药家燕万六渝盯丽丽丽 而 。 妙叫 乌 介 甲 ‘产 的哈带， 、 今 、洛、 场闷卜 协协， ， 凡 · 卜牡内 ‘肠‘ 币叭卜‘ ，叹‘， 熬 魏 而飞万丽万弓 亏 ’ 小叫的 卜、单份 ︸谧 呼协︸ 拿 ，带 ‘ 群兴减器带媲黯赘翁缺补。 图 连 不 同 沉积 时 ， 的担 涂层 、 光 衍强 度 谱线 靶 ， 。 ， 二 一 分钟 分钟 ’ 分钟 分 钟 夕

(a) 90858075706560 555045403530252020 5552 (b) 签 建 露 手 8 人 90858075706560555045403530252020 (c> 室 15 08580757065G0555045403530252020 (d) 90858075706560555045403530252020 图5不问沉积温度的钽涂层X光行射强度谱找(Cu靶，40KV,35ntA,Rn=4×10C/S) (a)1100C(30分钟)(b)1050C(30分钟)(C)1000C(30分钟)(d)900°C(30分钟) 图6是在不同温度下的涂层，用电镜观测的形貌。 () 64

华 二 次﹄伙 盆 ‘ “”“比“ 伙 怜习琦 ，︸目 切份小‘ 趁葬又班 牙奋﹄ 怪冬 键耳 ︸价寸 · 解勺导 ︸跳 赤赫赫瑞蕊有偷穿氛而而瓜厄。 幼 ， 蔚 。 左弓一左 丽飞 仃 。 答嘴 套 气流呀 之婉 卜 ‘ 、 煞 终 最腻 荻巫逐些迎些乡 粼橄娜莎橇俞 图 不 同 沉 积 温度 的担涂层 光衍射强 度谱套交 肥 ， ， 川 ， 。 “ 分钟 ‘ 分钟 ‘ 分钟 。士 。 分钟 图 是在不同温 度下 的涂层 ， 用电镜观测的形 貌

(C) (d) 图6电镜观测的涂层表面的形貌(2KX)(a)900'C(b)1000C(c)1050~C(d)1100~C 由图6可见涂层表面横向部份晶粒象起伏不平的山丘。这种晶粒是这样形成的，开始为 细小的晶粒，以后它们变为很多结晶中心，进一步沉积时，处在最适宜位置的晶核优先发 展，在长大方向的顶峰上具有最大的长大速度；在横截面上的另一些晶粒，当它的蜂接触到 髒近的晶体时，长大速度下降或者停止。因此在生长方向就生成了柱状的山蜂，而在横向部 份却为起伏不平的山丘。由于涂层物的品体这样生长，从而保证了它的致密性[1]。 晶粒尺寸受温度影响较大，一般规律是，温度增高，晶粒长大，涂层物的晶粒尺寸的变 化也符合此规律。垂直于生长方向的晶粒平均尺寸和纵向高度都随沉积温度的增高而长 大，如化学汽相沉积钨时晶粒受温度的影响就按此规律进行长大[2]。 在我们的化学汽相沉积过程里，涂层物的晶粒长大也符合上述规律。这种现象在图G看 ·得非常明显。当温度增加时，丘的高度及宽度也都明显增加。 据文献报导，基体的光洁度对沉积物晶粒尺寸的变化也有影响，但涂层条件对沉积物的品 体形状及其尺寸影响更大。大量实践已经证明，在动力学区进行的化学汽相沉积，能获得较为 致密的结晶。我们在900一1100°C范围内实验求出化学汽相沉积细的活化能为117.9千焦/摩 尔。应用绝对反应速度理论证明。沉积速度的限制性环节为表面反应，从而说明CVD钽的 反应在动力学区进行[3]。这就证明了我们获得的涂层是比较致密的。 二、结果与讨论 把涂有钽的样品，未涂钽的基体一镍基合金，纯钽三种不同类型的样品放入一密闭的容 器内（图7），其中放有KF:NaF=1:1,K2TaF,5%的熔融介质，加热到900°C保温八小 时后，冷却至室温，取出浸洗、烘干、称量。最后对此进行金相、扫描电镜等分析，其结果 分别示于图8一10，腐蚀情况示于表3。 图7*盐腐做试验装置1.铂丝，2.坩埚，3.试样，4.热电偶，5.控温仪，6，调压器.7，电阻炉。 65

飞匆 已 电镜 观 测的涂 层表面 的形貌 二 ’ 《 。 ’ “ 由图 可 见 涂 层表面横 向部份晶粒 象起伏不平的 山丘 。 这种晶粒是这样形成的 ， 开始 为 细小 的晶粒 ， 以 后它 们 变 为很 多结 晶 中心 ， 进一 步沉 积时 ， 处 在最适宜位置 的晶 核 优 先 发 展 ， 在长 大 方 向的顶峰上 具 有最大 的长大 速度， 在 横截面上 的 另一些 晶粒 ， 当它 的峰接触 到 磷近 的晶 体时 ， 长大 速度下降 或者 停止 。 因此在生长方 向就生 成 了柱状的 山峰 ， 而在横向部 份 却 为起伏不 平 的 山丘 。 由于 涂层物 的晶体这样生长 ， 从而保证了它 的致密性 〔 〕 。 品粒 尺寸 受温 度影响较 大 ， 一 般 规律是 ， 温 度增高 ， 晶粒 长大 ， 涂 层物 的晶粒 尺寸 的变 化也符合 此规律 。 垂 直于 生长 方 向的晶粒平均 尺 寸 和 纵 向高 度都随沉 积温 度的 增 高 而 长 大 ， 如化学汽相 沉 积 钨 时晶 粒受温 度 的影响就按此规律进 行长大 〔 」 。 在我 们 的化学 汽相 沉积过 程 里 ， 涂 层 物的晶粒 长大也符合上述规律 。 这 种现 象 在 图 着 得 非常 明显 。 当温度增加 时 ， 丘 的高 度及 宽度也都明显增 加 。 据 文献 报导 、 基 体 的光 洁库对沉 积物 晶粒尺寸 的变化也有影响 ， 但涂 层 条件 对沉 积物 的 晶 体形状 及其尺寸影响更大 。 大 量实践已经证明 ， 在动 力学 区进 行 的化学 汽相 沉 积 ， 能 获得较 为 致 密 的 结 晶 。 我们在 一 范 围 内实验求 出化学汽相 沉积恒 的 活化能 为 千焦 摩 尔 。 应 用绝对 反应速 度理论证明 。 沉 积速度的限 制性环节 为表 面 反应 ， 从而 说 明 担 的 反应 在动 力学 区进行〔 〕 。 这就证明 了我们获得 的 涂层是比较致密 的 。 二 、 结 果 与 讨 论 把涂有钮 的样 品 ， 未 涂钮 的基 体一镍基合金 ， 纯钮三种 不 同类 型 的样品放人一密 闭的容 器 内 图 ， 其 中放 有 二 ， 的熔融 介质 ， 加热到 “ 保温八小 时后 ， 冷 却至室温 ， 取 出瞬洗 、 烘干 、 · 称量 。 最后对此进行金相 、 扫描 电镜等分析 ， 其结果 分 别示 于 图 一 ， 腐蚀情况示 于表 。 厂甲 舌 厂 了 吸 图 始盐腐 蚀试 验 装 置 · 铂 丝 ， · 柑祸 ， 试 样 ， 热 电偶 ， 控 温仪 调 压 器 电阻炉

图8HG128你塑斯后减瘦的表面形貌(4心×)(a)木经蚀（♪）经熔盐脑蚀 (a)900C (b)1000C (c)1050C 图9G128涂钽层经熔金腐蚀后的表面形貌(400X) (a) (b) 图10纯粗板在熔盐中腐蚀的表面形貌(25×)(1)未经熔盐腐蚀（)经熔盐腐蚀 66

图 月 ” 涂钮前后 图 噢姚 溉色

表3 不同样品在氟化物熔盐中腐蚀结果 涂层条件 腐蚀 条件 腐蚀速率 方式基体材料 温度（°C) 时间 H2/C12 熔盐介质 温度(C) 时间 (分) (小时)克/原米2小时 GH128 (KF+NaF) 900 30 75/15 涂 K2TaF7=1:1 900 8 3.742X10-4 1000 900 8 4.279×10-4 钮 1050 900 5.002×10-4 的 1100 900 8 6.723×10-4 GH128 900 8 3.037×104 的 纯钽 900 1.096×10-2 由图8一10、表3的结果可以概括为以下几点： (1)随沉积温度的不同，涂层产物耐蚀性能也不同。沉积温度增，耐蚀性能下降， 最后达到纯钽的腐蚀速率。 (2)镍基合金在熔融的氟化物混合盐里的耐蚀性比涂层钽及纯钽高，这是由于N.Cr 耐熔融的氟盐腐蚀的原因。 (3)在熔融的氟化物盐里，涂层细比纯钽耐蚀性更好，但随着涂衔层厚度的增加，纯 钽和CVD钽的腐蚀性能接近。说明涂们层在氟化物熔盐里完全可以保护基体元素，不致于进 人熔体，而沾污金属产物。 (4)1腐蚀后样品形貌看到，镍基合金是选择性腐蚀，而涂层钽却是均)腐女。 (5)不阔积温度下的钽涂层物耐蚀性能不同，其中以1050°C沉积的钽为较好，而 900°C时沉积的袒涂层为最差，这是由于致密性不同的原因。 镍基合金所以能抗熔融氟化物盐的腐蚀，可能由于这些盐在脱水和熔化过程中，像基：合 金里的元素生成了相应的氧化物[4]，这样增强了其耐蚀性 随看沉积温度的增高，基体上沉积的钽涂层愈来愈厚，由于钥不耐氟盐的侵蚀，所以其 涂层在熔硒拟化物中的腐蚀速率愈来愈大，最后可达到纯钽的腐蚀速率。在我实验里，织 涂层的腐蚀送名低于纯钽，这是由于涂层钽和基体里扩散出来的Ni、Cr元素形成了金属间化 合物。这些化合物抗氟盐腐蚀性能较好，所以涂层钽的耐蚀性能比纯钮高。 由图9见，在1050°C沉积钽较致密，所以在熔融的氟化物中腐蚀较均匀，而未出现孔 洞。但在：另儿个温度沉积的试样里，相对的致密性较差，所以在腐蚀后的形猊图上出现一些 孔洞。 结 论 (1)在CVD钽涂层和基体间形成了一过度层，它使涂层物和基体间的粘附性提商，耐 蚀性增强， 67

表 不 同样 品 在氟化物熔盐 中腐蚀结果 方式 基体材料 涂 一 全丑 ‘ 的 ‘ 蕊称 一 日 一 添劣石棘 克 悠 举一 …严甲 一 一 一 城…班 － 一 一 一 又 一 一 · ︷ 一 一 一 纯 钮 又 一 义 一 涂的未 闷‘ 汪 一 ‘ 目曰 ， ， 州曰 口目目 口 一 一 目困 ‘ 一一 ‘ 侧 由图 一 、 表 的结 果可 以概括 为以下 几点 随沉 积温 度的 不 同 ， 涂 层 产物 耐蚀性能 也 不 同 。 沉 积 温 度增 加 ， 耐 蚀性 能 下 降 ， 最 后达 到纯钮 的腐蚀速率 。 镍 基 合金 在熔融 的氟 化物 混 合盐 里 的耐 蚀性比 涂 层 钮 及 纯钮 高 ， 这 是 由于 、 耐 熔 融 的氟 盐 腐蚀 的原 因 。 在熔融 的 氟化物 盐 里 ， 涂层 钮 比 纯钮 耐 蚀性 更 好 ， 但随 着涂钮 层 厚度 的增 加 ， 纯 钮 和 钮 的 腐蚀性能 接近 。 说 明涂扭 层在氟化物熔 盐 里完全可 以保护基体元素 ， 不 致于 进 人 熔体 ， 而 沽 污金 属 产物 。 由腐蚀后 样 品形 貌 看 到 ， 镍基 合 金是 选择 性 腐蚀 ， 而 涂 层钮 却 是均 匀 腐 蚀 。 的 不 同 ，沉积温 度下 的钮 涂层物耐蚀性能不 同 ， 其中以 沉 积的钮 为 最 好 ， 而 时沉 积 的担 涂层 为 最差 ， 这是 由于 致密性 不 同 的原 因 。 镍基 合金所 以能 抗熔 融 氟化物 盐 的腐蚀 ， 可 能 由于这些 盐在 脱水 和熔化 过 程 中 ， 镍基 合 金 里 的元 素 生 成 了相 应 的氧化物 〔 〕 ， 这样增强 了其耐蚀性 随 着沉 积温 度的增 高 ， 基 体上沉 积 的担 涂层愈来愈厚 ， 由于钮不 耐 氟 盐 的侵 蚀 ， 所 以其 涂层 在熔 融 氛 化物 中的腐蚀速率 愈来 愈大 ， 最 后 可达 到 纯祖 的腐蚀速 率 。 在我 们 实验 里 ， 涂层 的腐 蚀达 率 低于纯担 ， 这是 由于 涂层钮和基体里 扩散 出来的 、 元 素形 成 了金 属间化 合 物 。 这些 化 合物 伉 氟 盐 腐蚀性能较好 ， 所 以涂层担 的耐 蚀性 能 比 纯钮 高 。 由图 可 眨 ， 在 。 “ 沉 积钮较 致密 ， 所以 在熔 融 的 氟化物 中腐蚀较均 匀 ， 而 未 出现 孔 洞 。 但 在 另 儿 个温 度沉 积 的试样里 ， 相对 的致 密性较 差 ， 所 以 在腐 蚀后 的形貌 图上 出 现一些 孔 洞 。 结 论 在 祖 涂层 和基 体 间形 成 了一过度层 ， 它使 涂层物 和墓 体 间 的 粘 附性 提 高 ， 耐 蚀性 增 强

(2)在1050°C沉积的钽涂层较致密，所以能阻止基体被氟化物熔体的侵蚀，从丽保护 了此容器内的反应产物，不受侵蚀下来的合金元素的污染。 (3)用化学汽相沉积的方法可以制得高纯的、致密的、粘附性能好的和抗腐蚀的粗涂 尽。 参考文献 1 W.R.Holman,F.J.Huegel.J.Vac.Sci.Technol.11.(1974).701. :2)Yu.M.Korolev et Vostanovlenie ftoridov tugoplavkikn metallov vogorogom“Melamurgiya”,Moskiva(1981) 3:张长鑫本誌4(1983).106 (4;F.L-La que,.H·R·Copson·Corrosion Resislance Of Metals and Alloys.Second edition,Ame.chem.Soe.Monogragh Series p519 Study of Resistance to Corrosion of Tantalum in mol- ten Salt Mixture of Fluorides Zhang Changxin,Lu Yenping At 900C in mixture of molten K2TaF7-KF-NaF system the Corrosion lests indicated that resistance to corrosion of tantalum Coating is higher than pure tantalum.It is connected with alloy element of substrate.The observation coating by metallography election microscope microprobe has been proven.in fluoribes molt- eu the corrosion resistant of coating tantalum under deposition temperature 1050C is better. 68

在 沉 积的钮 涂层较致密 ， 所 以能 阻止基体被 氟化 物熔体 的侵 蚀 ， 从 而保 护 了此容 器 内的 反应产物 ， 不 受侵 蚀下来 的合金 元 素的污 染 。 用化学汽相沉 积的方法可 以制 得高 纯的 、 致密 的 、 粘附性能好的和 抗 腐蚀 的钮 涂 层 。 参 考 文 献 · · ， 二 · · 〕 · · 七 七 七 、 一 ，’ 七 ，， 、 二 张 长鑫 本忿 沪 · · ， · · · 七 入 七 。 刁 、 一 ， 气 “ 七 一 一 七 七 七 七 七 。 七 七 七 七 七 七 乞 “ 七七 洲