产业化 解决无源有机发光显示( PM-OLED)用有机蒸镀和封装 等关键设备大面积化和低成本化等问题,重点发展蒸发源、 掩模对位、玻璃和掩模板固定装置等设备,进一步提高生产 效率。 开展中小尺寸有源有机发光显示( AM-OLED)产品生 产工艺和制造设备研发,突破溅镀台、 PECVD系统、热蒸 发系统等AM-OIED用的薄膜晶体管(TFT)薄膜沉积装备 涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等 AM-OLED用的TFT图形 制作装备;退火炉、退火气体管道、激光退火设备等 AM-OLED用TFT退火装备;TFT电学测试设备、OLED光 学测试设备等 AM-OLED用检测装备;AM-OLED用缺陷检 测修补装备,如激光修补机等。 (2)高储能锂离子电池生产设备研发及产业化 突破电池浆料精密搅拌技术、电极极片精密涂敷技术、 极片精密轧膜技术及快速极片分切技术,实现400升(装量) 浆料搅拌设备、650毫米(幅宽)挤出式涂布设备、Φ800(轧 辊直径800毫米)强力轧膜设备、极片分切设备(分切速度 30-35米分钟)研发及产业化,实现整线设备集成。 (3)其他元器件生产设备研发及产业化 重点发展高性能永磁元件生产设备、高亮度LED生产设 备、金属化超薄膜电力电容器生产设备、超小型片式元件生13 产业化 解决无源有机发光显示（PM-OLED）用有机蒸镀和封装 等关键设备大面积化和低成本化等问题，重点发展蒸发源、 掩模对位、玻璃和掩模板固定装置等设备，进一步提高生产 效率。 开展中小尺寸有源有机发光显示（AM-OLED）产品生 产工艺和制造设备研发，突破溅镀台、PECVD 系统、热蒸 发系统等 AM-OLED 用的薄膜晶体管（TFT）薄膜沉积装备； 涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等 AM-OLED 用的 TFT 图形 制作装备；退火 炉、退火 气体管道、 激光退火设 备等 AM-OLED 用 TFT 退火装备；TFT 电学测试设备、OLED 光 学测试设备等 AM-OLED 用检测装备；AM-OLED 用缺陷检 测修补装备，如激光修补机等。 （2）高储能锂离子电池生产设备研发及产业化 突破电池浆料精密搅拌技术、电极极片精密涂敷技术、 极片精密轧膜技术及快速极片分切技术，实现 400 升（装量） 浆料搅拌设备、650 毫米（幅宽）挤出式涂布设备、Φ800（轧 辊直径 800 毫米）强力轧膜设备、极片分切设备（分切速度 30-35 米/分钟）研发及产业化，实现整线设备集成。 （3）其他元器件生产设备研发及产业化 重点发展高性能永磁元件生产设备、高亮度 LED 生产设 备、金属化超薄膜电力电容器生产设备、超小型片式元件生