重点发展扩散炉、等离子增强化学气相沉积设备 ( PECVD)等关键设备,突破单机自动化及生产线设备之间 物流传输自动化技术,实现整线自动化集成。 重点突破自动图像对准技术、柔性传输技术、高精度印 刷技术、高速高精度对准技术、测试分选技术、智能化控制 及系统集成技术,进一步提高电池片电极印刷、烘干、测试 分选速度实现产能达到1440片小时以上、碎片率低于0.5% 的全自动太阳能印刷线设备产业化。 (3)薄膜太阳能生产设备 硅基类蕙膜太阳能电池设备:重点提高大面积沉积的均 匀性,进一步提升设备运行的稳定性,适度提升自动化程度, 提高生产效率。 碲化镉(Cdτe)薄膜太阳能电池设备∶突破真空镀膜设 备技术难点,研发新型升华源的结构,进一步提高温度均匀 性,开发在高温、真空环境下的传动系统。 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池设备:突破真空镀膜 设备、材料溅射、硒化技术等技术难点,实现元素配比的精 确控制,保证大面积沉积的均匀性,提高生产效率,降低制 造成本。实现0.7平方米以上、电池转化效率达14%以上的 CIGS整线设备集成。 3、新型元器件生产设备 (1)中小尺寸有机发光显示(OLED)生产设备研发及12 重点发 展扩 散炉 、等 离子 增强 化学 气相 沉积 设备 （PECVD）等关键设备，突破单机自动化及生产线设备之间 物流传输自动化技术，实现整线自动化集成。 重点突破自动图像对准技术、柔性传输技术、高精度印 刷技术、高速高精度对准技术、测试分选技术、智能化控制 及系统集成技术，进一步提高电池片电极印刷、烘干、测试 分选速度，实现产能达到 1440 片/小时以上、碎片率低于 0.5% 的全自动太阳能印刷线设备产业化。 （3）薄膜太阳能生产设备 硅基类薄膜太阳能电池设备：重点提高大面积沉积的均 匀性，进一步提升设备运行的稳定性，适度提升自动化程度， 提高生产效率。 碲化镉（CdTe）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设 备技术难点，研发新型升华源的结构，进一步提高温度均匀 性，开发在高温、真空环境下的传动系统。 铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜 设备、材料溅射、硒化技术等技术难点，实现元素配比的精 确控制，保证大面积沉积的均匀性，提高生产效率，降低制 造成本。实现 0.7 平方米以上、电池转化效率达 14%以上的 CIGS 整线设备集成。 3、新型元器件生产设备 （1）中小尺寸有机发光显示（OLED）生产设备研发及