备、平坦化设备、清洗设备、工艺检测设备等整机产品的研 发,在工程样机设计及工艺开发的基础上,结合可靠性、稳 定性等产业化指标要求,改进设计,制造中试样机,通过大 量工艺验证与优化试验,确定商业机设计,实现产业化销售。 2、太阳能电池生产设备 (1)太阳能级多晶硅及单晶硅生长、切割、清洗设备 产业化 多晶硅生长设备:突破热场分控技术、定向凝固技术, 实现投料量吨级及以上产品硅铸锭炉的研发和产业化,并实 现成品率达到75%以上。 单晶硅生长设备:突破单晶生长全自动控制技术,实现 8英寸(156毫米×156毫米硅片)以上尺寸全自动单晶炉产 业化。 切割设备:突破张力控制软件技术、水冷却气密封技术 砂浆温度闭环控制技术等关键技术,保证能满足太阳能硅片 大生产切割需求,切割硅片尺寸8英寸,切割精度优于10 微米、厚度在180微米以下的太阳能硅片多线切割机产业化。 清洗设备∶突破槽体温度控制技术、溶液循环技术、大 行程直线传输技术等关键技术,提升产品质量的一致性,实 现碎片率小于0.3‰的太阳能晶硅清洗制绒设备产业化,促 进晶硅太阳能电池片转化效率提升。 (2)全自动晶硅太阳能电池片生产线设备研发及产业化11 备、平坦化设备、清洗设备、工艺检测设备等整机产品的研 发，在工程样机设计及工艺开发的基础上，结合可靠性、稳 定性等产业化指标要求，改进设计，制造中试样机，通过大 量工艺验证与优化试验，确定商业机设计，实现产业化销售。 2、太阳能电池生产设备 （1）太阳能级多晶硅及单晶硅生长、切割、清洗设备 产业化 多晶硅生长设备：突破热场分控技术、定向凝固技术， 实现投料量吨级及以上产品硅铸锭炉的研发和产业化，并实 现成品率达到 75%以上。 单晶硅生长设备：突破单晶生长全自动控制技术，实现 8 英寸（156 毫米×156 毫米硅片）以上尺寸全自动单晶炉产 业化。 切割设备：突破张力控制软件技术、水冷却气密封技术、 砂浆温度闭环控制技术等关键技术，保证能满足太阳能硅片 大生产切割需求，切割硅片尺寸 8 英寸，切割精度优于 10 微米、厚度在 180 微米以下的太阳能硅片多线切割机产业化。 清洗设备：突破槽体温度控制技术、溶液循环技术、大 行程直线传输技术等关键技术，提升产品质量的一致性，实 现碎片率小于 0.3‰的太阳能晶硅清洗制绒设备产业化，促 进晶硅太阳能电池片转化效率提升。 （2）全自动晶硅太阳能电池片生产线设备研发及产业化