根据杂质在晶体中的扩散系数选择 在高温工艺中,如扩散、外延,掺杂元素的扩散系数小 些好 快扩散杂质:H,Li,Na,cu,FeK,Au,He,Ag,Si 慢扩散杂质:A,PB,Ca,Ti,Sb,As 根据杂质元素的蒸发常数选择 快蒸发杂质的掺杂不宜在真空而应在保护性气氛下进行 尽量选择与锗、硅原子半径近似的杂质元素作为 掺杂剂,以保证晶体生长的完整性 1010 ➢ 根据杂质在晶体中的扩散系数选择 ◼ 在高温工艺中，如扩散、外延，掺杂元素的扩散系数小 些好 ◼ 快扩散杂质：H，Li, Na, Cu, Fe, K, Au, He, Ag, Si ◼ 慢扩散杂质：Al,P,B,Ca, Ti, Sb，As ➢ 根据杂质元素的蒸发常数选择 ◼ 快蒸发杂质的掺杂不宜在真空而应在保护性气氛下进行 ➢ 尽量选择与锗、硅原子半径近似的杂质元素作为 掺杂剂，以保证晶体生长的完整性