掺杂元素的选择标准 根据导电类型和电阻率的要求选择掺杂元素 轻摻杂(1014~1016,在功率整流级单晶)、 中掺杂(1016~1019,晶体管级单晶)、重掺 杂(大于1019外延衬底级单晶) 根据杂质元素在硅、锗中的溶解度选择 固溶度是指杂质在一定温度下能溶入固体硅中的最大浓度。 三、五族元素在硅中的固溶度较大。 杂质原子半径越大,特征原子构型与锗、硅的越不 同,它们在锗、硅中的固溶度越 根据分凝系数选择 分凝系数远离1的杂质难于进行重掺杂9 ➢ 根据导电类型和电阻率的要求选择掺杂元素 ◼ 轻掺杂（1014～1016，在功率整流级单晶）、 中掺杂（1016～1019，晶体管级单晶）、重掺 杂（大于1019外延衬底级单晶） ➢ 根据杂质元素在硅、锗中的溶解度选择 固溶度是指杂质在一定温度下能溶入固体硅中的最大浓度。 三、五族元素在硅中的固溶度较大。 杂质原子半径越大，特征原子构型与锗、硅的越不 同，它们在锗、硅中的固溶度越小。 ➢ 根据分凝系数选择 ◼ 分凝系数远离1的杂质难于进行重掺杂 掺杂元素的选择标准