水平区熔拉晶时杂质的控制 (区域匀平法) ■在用水平区熔法生长单晶时的掺杂,是 把杂质放在籽晶与料锭之间,随着熔区 的移动使杂质分布在整个晶锭中。 ■利用这种方法可以得到比较均匀的电阻 率分布,因此又称为区域匀平法。8 二、水平区熔拉晶时杂质的控制 （区域匀平法） ◼ 在用水平区熔法生长单晶时的掺杂，是 把杂质放在籽晶与料锭之间，随着熔区 的移动使杂质分布在整个晶锭中。 ◼ 利用这种方法可以得到比较均匀的电阻 率分布，因此又称为区域匀平法