小平面效应 晶体生长的固液界面,由于受坩锅中熔体等温 线的限制,常常是弯曲的。如果在晶体生长时 迅速提起晶体,在原子密排面的固液界面会出 现一小片平整的平面,称之为小平面 ■在小平面区杂质浓度与非小平面区有很大差 异,这种杂质在小平面区域分布异常的现象 叫小平面效应。 ■由于小平面效应,小平面区域的电阻率会降 低。为了消除小平面效应带来的径向电阻率 不均匀性,需将固液界面调平。 77 ◼ 晶体生长的固液界面，由于受坩锅中熔体等温 线的限制，常常是弯曲的。如果在晶体生长时 迅速提起晶体，在原子密排面的固液界面会出 现一小片平整的平面，称之为小平面。 ✓小平面效应 ◼ 在小平面区杂质浓度与非小平面区有很大差 异，这种杂质在小平面区域分布异常的现象 叫小平面效应。 ◼ 由于小平面效应，小平面区域的电阻率会降 低。为了消除小平面效应带来的径向电阻率 不均匀性，需将固液界面调平