■2.径向电阻率均匀性的控制 √固液界面的平坦度 为了获得径向电阻率均匀的单晶,必须调平固液界面。 采用的方法有: A:调整晶体生长热系统,使热场的径向温度梯度变小 B:调节拉晶运行参数,例如对凸向熔体的界面,增加 拉速;对凹向熔体的界面,降低拉速 C:调整晶体或者坩锅的转速 增加晶体转动速度,界面由凸变凹 增加坩锅转动速度,界面由凹变凸 D:增大坩锅内径与晶体直径的比值,一般 坩锅内径:晶体直径=3~25 66 ◼ 2. 径向电阻率均匀性的控制 ✓固液界面的平坦度 为了获得径向电阻率均匀的单晶，必须调平固液界面。 采用的方法有: A：调整晶体生长热系统，使热场的径向温度梯度变小 B ：调节拉晶运行参数，例如对凸向熔体的界面，增加 拉速；对凹向熔体的界面，降低拉速 C：调整晶体或者坩锅的转速 增加晶体转动速度，界面由凸变凹 增加坩锅转动速度，界面由凹变凸 D：增大坩锅内径与晶体直径的比值，一般 坩锅内径：晶体直径＝3～2.5：1