化学气相沉积(CVD) 化学气相沉积(CVD)也称为气相外延 Vapor-phase epitaxy, VPE) 是通过气体化合物间的化学作用而形成外延层的工艺,CVD工 艺包括 常压化学汽相淀积( APCVD)( Atmospheric pressure CVD) 低压化学汽相淀积 LPCVD) 令等离子增强化学汽相淀积( PECVD)( Plasma Enhanced cVD) 金属有机化学气相沉积( MOCVD) 令激光化学气相沉积等化学气相沉积（CVD）也称为气相外延 （Vapor－phase epitaxy，VPE）， 是通过气体化合物间的化学作用而形成外延层的工艺，CVD工 艺包括 ❖ 常压化学汽相淀积(APCVD)(Atmospheric pressure CVD) ❖ 低压化学汽相淀积(LPCVD) ❖ 等离子增强化学汽相淀积(PECVD)(Plasma Enhanced CVD) ❖ 金属有机化学气相沉积（MOCVD） ❖ 激光化学气相沉积等 化学气相沉积（CVD）