3.1像差概述 (1)几何像差(Geometric Aberration):不满足小量假设或旁 轴条件，运动方程有高阶项— 可能束流截面尺寸较大。 (2)色差(Chromatism):不满足与纵向运动无耦合的假设 电子初始动量有明显不同（或加速电压波动）. (3)机械误差(Mechanic Error):不满足“理想场”假设 可能因制造、安装误差或外场干扰 (4)空间电荷误差(Space Charge Effect):不满足“单粒子” 假设，束流电子间有相互作用一可能电流密度较大. (5)衍射像差(Diffraction):不满足非波动性假设，电子固有 其波动性—可能因图像像素或膜孔孔径甚小. W=Arde(b+ib)e+2(6-ib )et ra2ro +[Ce+(d+id)e2%门rar。+（f+ifi)r。3e 几何像差的分类即来于此式，系数A确定的项称球差，F(或 f)项称畸变，B(或b)项称彗差，C与D(或)相关项称像散和 场曲. 17