如果掩膜版的图形 是由不透光的区域决 定的,称其为亮场掩 膜版;而在一个暗场 亮场 掩膜版中,掩膜版上 的图形是用相反的方 式编码的,如果按照 同样的步骤,就会在 晶园表面留下凸起的 图形。 暗场掩膜版主要 工工 暗场 用来制作反刻金属互 联线。如果掩膜版的图形 是由不透光的区域决 定的，称其为亮场掩 膜版；而在一个暗场 掩膜版中，掩膜版上 的图形是用相反的方 式编码的，如果按照 同样的步骤，就会在 晶园表面留下凸起的 图形。 暗场掩膜版主要 用来制作反刻金属互 联线。 亮场 暗场