·1626 工程科学学报，第37卷，第12期 AN以非晶相形式存在，这些硬质相有利于提高涂层 (111)晶面衍射峰强度很高，远高于其他晶面衍射峰 硬度、耐磨性以及抗氧化性能a.AlTiCrN涂层的 强度，说明涂层(111)晶面具有很强的择优取向. 18000 1400 (a) △WC 15000 1200H △ ☆TiC 1000 12000 002431 800 9000 600 6000 (OZZN(IV (ZZZ)N(IV 400 3000 200 30 40 50 60 70 80 30 0 50 60 70 80 20/ 20/ 图2涂层和基体X射线衍射分析.(a)基体：(b)涂层 Fig.2 XRD patterns of the coating and substrate:(a)substrate:(b)coating 2.3界面形貌与线扫描分析 表面凹凸点上，在冷却时咬住凸点，结合界面呈现锯齿 AlTiCrN涂层的晶粒为沿垂直于基体方向生长， 状，形成机械结合方式.对AlTiCrN涂层界面进行线扫 涂层结构组织致密，无粗大柱状晶和孔洞，厚度约为5 描分析，结果如图3(b)所示.化学元素的质量分数 μm,如图3(a)所示.在离子镀过程中从靶材飞溅的熔 (%):A110.98,Ti12.48,Cr9.68,W47.75,C14.37, 融粒子撞击到经喷砂处理的基体表面时，覆盖在基体 Co4.75,N未测出：原子数分数(%)：A117.03,Ti a 7000 700( 6000 600 irN涂层 5000 500 4000 3000 300 2000 200 1000 Co Co W 100 PC-SEI 2 3 45678910 5101520253035 能量keV 距离m 350 200 (e) 160 ) 30 150 s000 100 80 40 50 %w入w n 101520253035 5 1015202530 35 %5 101520253035 距离/m 距离小m 距离m 900 180 300 (g) (h) 750 150 250 120 200 5 90 150 0 60 100 150 50 00 5 10152025 3035 5 101520253035 65 101520253035 距离m 距离m 距离m 图3涂层界面线扫描结果.(a)界面形貌：(b)线扫描结果：(c)A:(d)Ti:()Cr;(0N:(g)W:(h)Co:(i)C Fig.3 Line scan analysis results of the interface:(a)interface morphology:(b)result of line scan:(c)Al:(d)Ti;(e)Cr:(f)N:(g)W: (h)Co:(i)C工程科学学报，第 37 卷，第 12 期 AlN 以非晶相形式存在，这些硬质相有利于提高涂层 硬度、耐 磨 性 以 及 抗 氧 化 性 能［16］． AlTiCrN 涂 层 的 ( 111) 晶面衍射峰强度很高，远高于其他晶面衍射峰 强度，说明涂层( 111) 晶面具有很强的择优取向． 图 2 涂层和基体 X 射线衍射分析． ( a) 基体; ( b) 涂层 Fig． 2 XＲD patterns of the coating and substrate: ( a) substrate; ( b) coating 图 3 涂层界面线扫描结果． ( a) 界面形貌; ( b) 线扫描结果; ( c) Al; ( d) Ti; ( e) Cr; ( f) N; ( g) W; ( h) Co; ( i) C Fig． 3 Line scan analysis results of the interface: ( a) interface morphology; ( b) result of line scan; ( c) Al; ( d) Ti; ( e) Cr; ( f) N; ( g) W; ( h) Co; ( i) C 2. 3 界面形貌与线扫描分析 AlTiCrN 涂层的晶粒为沿垂直于基体方向生长， 涂层结构组织致密，无粗大柱状晶和孔洞，厚度约为 5 μm，如图 3( a) 所示． 在离子镀过程中从靶材飞溅的熔 融粒子撞击到经喷砂处理的基体表面时，覆盖在基体 表面凹凸点上，在冷却时咬住凸点，结合界面呈现锯齿 状，形成机械结合方式． 对 AlTiCrN 涂层界面进行线扫 描分析，结果如图 3 ( b) 所示． 化学元素的质量分数 ( % ) : Al 10. 98，Ti 12. 48，Cr 9. 68，W 47. 75，C 14. 37， Co 4. 75，N 未 测 出; 原 子 数 分 数 ( % ) : Al 17. 03，Ti · 6261 ·