《薄膜科学与技术》课程教学大纲 课程名称：薄膜科学与技术 课程类别：专业选修课 适用专业：材料化学 考核方式：考查 总学时、学分：32学时2学分 其中实验学时：0学时 一、课程教学目的 自本世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得到突飞猛进的发 展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果，并已成为 当代真空科学与技术和材料科学中最活跃的研究领域。薄膜技术、薄 膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发与应用。本课 程通过讲授真空及薄膜的物理基础、薄膜制备工艺、薄膜的形成和结 构、薄膜结构的表征技术等内容，目的是使学生掌握基本的薄膜物理 和化学制备技术，并了解薄膜材料的基本特点和物性检测的主要方法， 从而拓宽学生的知识领域，培养出知识结构更为合理的优秀人才。 二、课程教学要求 通过本课程的学习，要求学生初步掌握真空及薄膜的物理基础， 对真空获得、真空测量、气体放电、等离子体物理、离子溅射、薄膜 生长等有较深入的了解：在重点掌握真空蒸镀、溅射、化学气相沉积 等基本工艺的基础上，对迅速发展的薄膜技术有全面的了解：通过资 料调研和课堂讨论，在重点了解一两种薄膜材料的基础上，对各种类 型薄膜材料的制备、结构、性能及应用有系统的了解。通过本课程的 学习，要求能够使用多种类型薄膜材料的设备、分析多种类型的薄膜《薄膜科学与技术》课程教学大纲 课程名称：薄膜科学与技术 课程类别：专业选修课 适用专业：材料化学 考核方式：考查 总学时、学分： 32 学时 2 学分 其中实验学时： 0 学时 一、课程教学目的 自本世纪七十年代以来，薄膜技术与薄膜材料得到突飞猛进的发 展，无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果，并已成为 当代真空科学与技术和材料科学中最活跃的研究领域。薄膜技术、薄 膜材料、表面科学相结合推动了薄膜产品全方位的开发与应用。本课 程通过讲授真空及薄膜的物理基础、薄膜制备工艺、薄膜的形成和结 构、薄膜结构的表征技术等内容，目的是使学生掌握基本的薄膜物理 和化学制备技术，并了解薄膜材料的基本特点和物性检测的主要方法， 从而拓宽学生的知识领域，培养出知识结构更为合理的优秀人才。 二、课程教学要求 通过本课程的学习，要求学生初步掌握真空及薄膜的物理基础， 对真空获得、真空测量、气体放电、等离子体物理、离子溅射、薄膜 生长等有较深入的了解；在重点掌握真空蒸镀、溅射、化学气相沉积 等基本工艺的基础上，对迅速发展的薄膜技术有全面的了解；通过资 料调研和课堂讨论，在重点了解一两种薄膜材料的基础上，对各种类 型薄膜材料的制备、结构、性能及应用有系统的了解。通过本课程的 学习，要求能够使用多种类型薄膜材料的设备、分析多种类型的薄膜