的性能，并初步具备开发新设备、制备新材料的能力。 三、先修课程 学生学习完《功能材料概论》、《材料物理化学》、《材料现代表征 技术》和《材料物理导论》以后开设本课程。 四、课程教学重、难点 本课程重点是真空的获得及测量、蒸发法、溅射法、化学气相沉 积以及薄膜生长与形核理论。 本课程难点是气体放电、薄膜热力学与动力学以及薄膜生长与结 构。 五、课程教学方法与教学手段 教学方法：课程讲授中采用启发式教学，突出重点，讲透原理， 把镀膜技术的发展和课程教学紧密结合起来，培养学生思考问题、分 析问题和解决问题的能力。 教学手段：在教学中采用板书、电子教案及多媒体教学等相结合 的教学手段，以确保全面、高质量地完成课程教学任务。 六、课程教学内容 第1章薄膜制备的真空技术基础(4学时) 1.教学内容 (1)气体分子运动论的基本概念：气体分子的速度及其分布；气体的压强和平均自由程： 气体分子在表面上的碰撞：真空的划分： (2)气体的流动状态和真空抽速：气体的流动状态：气体管路的流导：真空泵的抽速： (3)真空的获得：真空泵以及工作原理： (4)真空的测量：热偶规：离子规。 2.重、难点提示的性能，并初步具备开发新设备、制备新材料的能力。 三、先修课程 学生学习完《功能材料概论》、《材料物理化学》、《材料现代表征 技术》和《材料物理导论》以后开设本课程。 四、课程教学重、难点 本课程重点是真空的获得及测量、蒸发法、溅射法、化学气相沉 积以及薄膜生长与形核理论。 本课程难点是气体放电、薄膜热力学与动力学以及薄膜生长与结 构。 五、课程教学方法与教学手段 教学方法：课程讲授中采用启发式教学，突出重点，讲透原理， 把镀膜技术的发展和课程教学紧密结合起来，培养学生思考问题、分 析问题和解决问题的能力。 教学手段：在教学中采用板书、电子教案及多媒体教学等相结合 的教学手段，以确保全面、高质量地完成课程教学任务。 六、课程教学内容 第 1 章 薄膜制备的真空技术基础（4 学时） 1．教学内容 (1)气体分子运动论的基本概念：气体分子的速度及其分布；气体的压强和平均自由程； 气体分子在表面上的碰撞；真空的划分； (2)气体的流动状态和真空抽速：气体的流动状态；气体管路的流导；真空泵的抽速； (3)真空的获得：真空泵以及工作原理； (4)真空的测量：热偶规；离子规。 2．重、难点提示