5.1.1工作原理 SEM倍率改变的方法： 由于阴极射线管的荧光屏宽度尺寸(Ac)是固定值，一 般100mm,如果调节扫描线圈电流，从而改变入射电子 在样品上扫描范围As(也称为扫描振幅)，则可获得不 同的放大倍率： M=A/A、=常数/A (5-1) 当扫描范围减小，则倍率提高，反之则降低。5.1.1 工作原理 SEM倍率改变的方法： 由于阴极射线管的荧光屏宽度尺寸（Ac）是固定值，一 般100mm，如果调节扫描线圈电流，从而改变入射电子 在样品上扫描范围As（也称为扫描振幅），则可获得不 同的放大倍率： M Ac As As  /  常数/ （5-1） 当扫描范围减小，则倍率提高，反之则降低