5.1.1工作原理 从电子枪阴极发射出的电子受1至50kV高压加速，经过 三个磁透镜的三级缩小，形成束斑直径约5~10m的细电 子束聚焦在样品表面。在第二聚光镜和第三聚光镜（又称 物镜)之间有一组扫描线图，使电子束在样品表面扫描， 产生各种物理信号；这些信号被相应的检测器检测，经视 频放大器进一步放大后调制阴极射线管的亮度，由于阴极 射线管偏转线圈和镜筒中扫描线圈的扫描电流是严格同步 的，因此样品表面任意点发射的信号与阴极射线管的荧光 屏上相应亮点的亮度是一一对应的。也就是说，电子打到 试样上的一点时，在阴极射线管的荧光屏上就出现一个对 应亮点。我们观察样品上的一定范围的区域，扫描电子显 微镜像电视一样采用逐点扫描法将图像显示出来。5.1.1 工作原理 从电子枪阴极发射出的电子受1至50kV高压加速，经过 三个磁透镜的三级缩小，形成束斑直径约5～10nm的细电 子束聚焦在样品表面。在第二聚光镜和第三聚光镜（又称 物镜）之间有一组扫描线图，使电子束在样品表面扫描, 产生各种物理信号；这些信号被相应的检测器检测，经视 频放大器进一步放大后调制阴极射线管的亮度，由于阴极 射线管偏转线圈和镜筒中扫描线圈的扫描电流是严格同步 的，因此样品表面任意点发射的信号与阴极射线管的荧光 屏上相应亮点的亮度是一一对应的。也就是说，电子打到 试样上的一点时，在阴极射线管的荧光屏上就出现一个对 应亮点。我们观察样品上的一定范围的区域，扫描电子显 微镜像电视一样采用逐点扫描法将图像显示出来