5.1SEM的工作原理和构造 5.1.1工作原理 电子枪灯丝和高压电源 ☒ 电子枪 ☒ 聚光镜 电源 扫描发生器 第一聚光镜 放大控制 扫描放大器 电子收集器 第二聚光镜 光电倍增管 上偏转线图 规频放大 下偏转线图 第三聚光镜 (物镜) 接真空系统 电子束 观察 样品 阴极射线管 样品室 照相5.1 SEM的工作原理和构造 5.1.1 工作原理