子工業出版社 USTRY 2.2.1半导体的压阻效应 固体受到作用力后,电阻率就要发生变化,这 种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大,分辨率高。频率 响应高,体积小。它主要用于测量压力、加速 度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感,因此压阻式传 感器的温度误差较大,必须要有温度补偿。2.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这 种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率 响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速 度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传 感器的温度误差较大，必须要有温度补偿。 返 回 上一页 下一页