.1626 北京科技大学学报 第35卷 3.0005m SEM-KING 0005m 4500 4000 2500 4000 (d) (e) Ti 3500 Ti 8 ( Ti 3500 3000 2000 3000 2500 1500 2000 2000 Ni 1500 1000 Ni 1000 Si 1000 500 500 500 Ti Ti 1 2345678910 0 儿e 12345678910 012 345678910 能量/keV 能量/keV 能量/keV 图7 磨损后TiAISiN涂层表面形貌与能谱.(a),(d)试运行阶段：(b),(e)波动阶段：(c),()稳定阶段 Fig.7 Surface morphologies and EDS spectra of the TiAlSiN coating after wear:(a),(d)run-in stage;(b),(e)fluctuation stage; (c),(f)stable stage 15kV×8200m SEM-KING 0.5mm 0.5mm 0.5 mm 0.5mm 0.5mm 0.5mm 图8磨损后TiAISiN涂层表面面能谱分析结果.(a)磨损表面形貌；(b)Ti元素；(c)Al元素；(d)Si元素：(e)N元素；()O元素： (g)Fe元素；(h)Ni元素；()Cr元素 Fig.8 EDS plane scanning analysis results of the TiAlSiN coating after wear:(a)morphology of the wear surface;(b)element Ti;(c)element Al;(d)element Si;(e)element N;(f)element O;(g)element Fe;(h)element Ni;(i)element Cr· 1626 · 北 京 科 技 大 学 学 报 第 35 卷 图 7 磨损后 TiAlSiN 涂层表面形貌与能谱. (a), (d) 试运行阶段; (b), (e) 波动阶段; (c), (f) 稳定阶段 Fig.7 Surface morphologies and EDS spectra of the TiAlSiN coating after wear: (a), (d) run-in stage; (b), (e) fluctuation stage; (c), (f) stable stage 图 8 磨损后 TiAlSiN 涂层表面面能谱分析结果. (a) 磨损表面形貌; (b) Ti 元素; (c) Al 元素; (d) Si 元素; (e) N 元素; (f) O 元素; (g) Fe 元素; (h) Ni 元素; (i) Cr 元素 Fig.8 EDS plane scanning analysis results of the TiAlSiN coating after wear: (a) morphology of the wear surface; (b) element Ti; (c) element Al; (d) element Si; (e) element N; (f) element O; (g) element Fe; (h) element Ni; (i) element Cr