2.2真空的获得 压强Tom 1010 10-8 106 104 10-2 102 100 D DP.TM.CP.TMh MD RP 80 IP 40 TMI \TMh 20 RP MD CP DP 0 108 106 104 10-2 1 102 104 压强/Pa MD一机械式干式泵； TMh一涡轮分子泵（混合式）；TM一涡轮分子泵； RP一两级式油封机械泵：DP一油扩散泵； IP一溅射离了泵； CP一低温冷凝吸附泵 图3一1各种泵的抽速比较 电子料发女学 UniersityfrScinced fChina2.2真空的获得 MD一机械式干式泵； TMh一涡轮分子泵（混合式)； TM一涡轮分子泵； RP一两级式油封机械泵；DP一油扩散泵； IP一溅射离了泵； CP一低温冷凝吸附泵 图3—1 各种泵的抽速比较