2.2真空的获得 真空泵的分类及常用工作压强范围 旋片式机械泵(Rotary Pump)） 单级：1051Pa双级：105102Pa 气体输 罗茨泵(Booster Pump/Roots Pump) 103-101Pa 油扩散泵(Diffusion Pump) 1-106Pa 泵 涡轮分子泵(Turbomolecular Pump) 1-108Pa 0 溅射离子泵(Ion Pump) 10-31011Pa 钛升华泵(Titanium Sublimation Pump) 1031011Pa 体捕获泵 低温冷凝泵(Cyro Pump) 1041011Pa 吸附泵(Sorption Pump) 102-103Pa 说明：从大气压强开始抽气，没有一种真空泵可以涵盖从latm到l08Pa的工作范围 →真空泵往往需要多种泵组合构成复合抽气系统 →令实现以更高的抽气效率达到所需的高真空！ 电子科发女学 UniersityfErScincendTfChina2.2真空的获得 说明：从大气压强开始抽气，没有一种真空泵可以涵盖从latm到 Pa的工作范围 →真空泵往往需要多种泵组合构成复合抽气系统 →令实现以更高的抽气效率达到所需的高真空！ 8 10