KOH、EDP腐蚀系统(各向异性腐蚀) KOH、H2O和(CH3)2CHOH(异两醇,即IPA) 首先将硅氧化成含水的硅化合物 KOH+ H2O=K+20H+H S2OH+4H2O—SOH)2 口然后与异丙醇反应,形成可溶解的硅 S(OH)6+6(CH3)2CHOH=S,(OC H,)61+6H,0 口络合物不断离开硅的表面▪ KOH、H2O和（CH3）2CHOH（异丙醇，即IPA） ▪ 首先将硅氧化成含水的硅化合物 KOH+ H2O=K++2OH-+H+ Si+2OH-+4 H2O Si(OH)2- ❑然后与异丙醇反应，形成可溶解的硅 ❑络合物不断离开硅的表面 KOH、EDP腐蚀系统（各向异性腐蚀） 2 2 6 3 2 3 7 6 2 ( ) 6( ) [ ( ) ] 6 i i S OH CH CHOH S OC H H O − − + = +