1、变极距型电容传感器 图中极板1固定不动,极板2为可动电板(动片),当 动片随被测量变化而移动时,使两极板间距变化,从 而使电容量产生变化,其电容变化量△C为 SES△δ △6 △C= 6-△6666-△6 0 6-△ C—极距为时的初始电容量。 该类型电容式传感器 C 存在着原理非线性,所以 实际应用中,为了改善非 线性、提高灵敏度和减小 外界因素(如电源电压、 2 环境温度)的影响,常常 变极距型电容传感器 作成差动式结构或采用适 当的测量电路来改善其非 C-δ特性曲线 线性。1、变极距型电容传感器 图中极板1固定不动，极板2为可动电极(动片)，当 动片随被测量变化而移动时，使两极板间距变化，从 而使电容量产生变化 ，其电容变化量ΔC为 δ 2 变极距型电容传感器 1 该类型电容式传感器 存在着原理非线性，所以 实际应用中，为了改善非 线性、提高灵敏度和减小 外界因素(如电源电压、 环境温度)的影响，常常 作成差动式结构或采用适 当的测量电路来改善其非 线性。 C  C0 C- 特性曲线 C0—极距为时的初始电容量。              −   = −   − = −   = C0 S S S C