膜对台阶的覆盖 我们期望膜在硅片表面上厚度一致,但由 于硅片表面台阶的存在,如果淀积的膜在台阶 上过渡的变薄,就容易导致高的膜应力、电短 路或在器件中产生不希望的诱生电荷。应力还 可能导致衬底发生凸起或凹陷的变形。 均匀厚度 共形台阶覆盖 非共形台阶覆盖 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 膜对台阶的覆盖 我们期望膜在硅片表面上厚度一致，但由 于硅片表面台阶的存在，如果淀积的膜在台阶 上过渡的变薄，就容易导致高的膜应力、电短 路或在器件中产生不希望的诱生电荷。应力还 可能导致衬底发生凸起或凹陷的变形。 共形台阶覆盖 非共形台阶覆盖 均匀厚度