薄膜特性 好的台阶覆盖能力 ·填充高的深宽比间隙的能力 好的厚度均匀性 ·高纯度和高密度 受控制的化学剂量 ·高度的结构完整性和低的膜应力 好的电学特性 ·对衬底材料或下层膜好的黏附性 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 薄膜特性 • 好的台阶覆盖能力 • 填充高的深宽比间隙的能力 • 好的厚度均匀性 • 高纯度和高密度 • 受控制的化学剂量 • 高度的结构完整性和低的膜应力 • 好的电学特性 • 对衬底材料或下层膜好的黏附性