固态薄膜 厚 与衬底相比 宽 薄膜非常薄 Oxide Silicon substrate 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda Figure 11. 4 电信学院微电子教研室电信学院微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 固态薄膜 Silicon substrate Oxide 宽 厚 与衬底相比 薄膜非常薄 Figure 11.4