上游充通大警 扫描电子显微镜的发明 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY ©扫描型显微镜的设计原理是：采用聚焦得非常细 的电子束作为照明源（激发源），以光栅状扫描方 式照射到被观察的试样上，通过入射电子与物质 相互作用产生各种信号。 借助这种理念，采用电子束作光源 公认扫描电镜的概念最早是由德国的Knoll在 1935年提出来的 1938年Von Ardenne在透射电镜上加了个扫描线 圈做出了扫描透射显微镜(STEM)。扫描电子显微镜的发明 扫描型显微镜的设计原理是：采用聚焦得非常细 的电子束作为照明源(激发源)，以光栅状扫描方 式照射到被观察的试样上，通过入射电子与物质 相互作用产生各种信号。 借助这种理念，采用电子束作光源 公认扫描电镜的概念最早是由德国的Knoll在 1935年提出来的 1938年Von Ardenne在透射电镜上加了个扫描线 圈做出了扫描透射显微镜 (STEM)