上游充通大警 扫描电镜的发展 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 第一台能观察厚样品的扫描电镜是1942年 Zworykin制作的，它的分辨率为50纳米左右。 1952年，英国剑桥大学的Oatley和他的学生 McMullan也制作了扫描电镜 1955年，扫描电镜的研究取得较显著的突破，成 像质量有明显提高 1959年，制成了第一台分辨率为10纳米的扫描电 镜 1965年，第一台商业扫描电镜的制造公司 Cambridge Scientific Instruments制造了Mark I “Steroscani”。扫描电镜的发展 第一台能观察厚样品的扫描电镜是1942年 Zworykin制作的，它的分辨率为50纳米左右。 1952年，英国剑桥大学的 Oatley 和他的学生 McMullan也制作了扫描电镜. 1955年，扫描电镜的研究取得较显著的突破，成 像质量有明显提高 1959年，制成了第一台分辨率为10纳米的扫描电 镜 1965年，第一台商业扫描电镜的制造公司 Cambridge Scientific Instruments 制造了Mark I “Steroscan