上游充通大兽 扫描电镜的发展 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 1969年，在扫描电镜上成功地观察到电子通道效应，并结 合电子探针微区成份分析技术，使得扫描电镜在观察表面 形貌的同时，还能进行晶体学分析和成份分析，即兼备有 一般透射电镜、电子探针和衍射仪的长处。 1986年，扫描电镜的分辨率已突破0.8nm(即8A),并实现 了电子计算机全面控制和数字图像记录。 目前扫描电镜多采用场发射枪的高分辨扫描电镜、可变压 强的环境扫描电镜（也称可变压扫描电镜）。 发展方向是 ·高分辨扫描电镜，具有0.4纳米的分辨率。 · 环境扫描电镜：气压为4000Pa(30torm),仍保持2纳米的分辨率。扫描电镜的发展 1969年，在扫描电镜上成功地观察到电子通道效应，并结 合电子探针微区成份分析技术，使得扫描电镜在观察表面 形貌的同时，还能进行晶体学分析和成份分析，即兼备有 一般透射电镜、电子探针和衍射仪的长处。 1986年，扫描电镜的分辨率已突破0.8nm(即8 Å)，并实现 了电子计算机全面控制和数字图像记录。 目前扫描电镜多采用场发射枪的高分辨扫描电镜、可变压 强的环境扫描电镜（也称可变压扫描电镜）。 发展方向是 • 高分辨扫描电镜，具有 0.4 纳米的分辨率。 • 环境扫描电镜：气压为 4000Pa(30torr)，仍保持2纳米的分辨率