第八章纳米表面工程 S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 3实现表面纳米化的三种途径 平这种材料的主要特征是:纳米结构表层内晶 矿粒大小比较均匀、晶粒尺寸可以控制;表层与 以基体之间存在着明显得界面;材料的外形尺寸 学较处理前有所增加。 材 科 许多常规表面涂层和沉积技术都具有开发纳 料米表面膜层的潜力,如PVD、CVD、电解沉积 学 与 等。通过工艺参数的调节,可以控制纳米结构 表层的厚度和纳米晶粒的尺寸,整个工艺过程 程 学 的关键是实现表层与基体之间以及表层纳米颗 院粒之间的牢固结合。 1010 3 实现表面纳米化的三种途径 这种材料的主要特征是：纳米结构表层内晶 粒大小比较均匀、晶粒尺寸可以控制；表层与 基体之间存在着明显得界面；材料的外形尺寸 较处理前有所增加。 许多常规表面涂层和沉积技术都具有开发纳 米表面膜层的潜力，如PVD、CVD、电解沉积 等。通过工艺参数的调节，可以控制纳米结构 表层的厚度和纳米晶粒的尺寸，整个工艺过程 的关键是实现表层与基体之间以及表层纳米颗 粒之间的牢固结合。 第八章 纳米表面工程