电阻加热 真空 感应加热 纳米固体薄膜制备技术「蒸发十电子束加热 LSISCIENGE△ 激光加热 平溶胶凝胶法 直流溅射 物理气相沉积L_溅射_H射频溅射 矿广 (PVD 冗积 磁控溅射 业 电镀法 离子束溅射 学 材 分子束外延 直流二极型离子镀 气相沉积 (MBE) 离子镀 射频放电离子镀 科 等离子体离子镀 学 与 HFCVD 化学气相沉积 程 (CVD) PECVD 学 LECVD 9 况9 纳米固体薄膜制备技术 直流溅射 射频溅射 磁控溅射 离子束溅射 真空 蒸发 溅射 沉积 离子镀 物理气相沉积 （PVD） 化学气相沉积 （CVD） 分子束外延 气相沉积 （MBE） 电 镀 法 溶胶-凝胶法 电阻加热 感应加热 电子束加热 激光加热 直流二极型离子镀 射频放电离子镀 等离子体离子镀 HFCVD PECVD LECVD