3)容栅传感器 a)差动式梳齿形容栅传感器 动极板 定极板-两组极栅，等间隔，交叉 动极板极距相同，栅宽相同 定极板 相对移动电容周期变化一脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 b)多级片型容栅传感器 动尺一系列发射电极片，宽度间隔。 4 定尺-一系列接收电极片，宽度间隔4 动尺一 DHBBF0D50FB806098688080 相对移动-电容周期变化-一脉冲信号 2定尺 多个差动式变面积型电容传感器的并联 口“四 c)特点：量程大长定尺，150mm,300mm 1动尺 2定尺 精度高-误差平均效应 d)应用： 输出 测量位移-数显卡尺，分辨力0.01mma) 差动式梳齿形容栅传感器 3) 容栅传感器 b) 多级片型容栅传感器 c) 特点： 定极板---两组极栅，等间隔，交叉 动极板---极距相同，栅宽相同 相对移动---电容周期变化---脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 动尺---一系列发射电极片，宽度间隔l0 定尺---一系列接收电极片，宽度间隔l0 /4 相对移动---电容周期变化---脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 d) 应用： 量程大---长定尺，150mm, 300mm 精度高---误差平均效应 测量位移---数显卡尺，分辨力0.01mm