2、光栅式传感器 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 物理光栅：利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 计量光栅：利用光的莫尔条纹现象测量精密位移 5.0 10.0 15.0 ume 2、 光栅式传感器 --- 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 物理光栅： 计量光栅： 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移