Chemistry and ic industry 超大规模集成电路是信息科学领域的核 心技术,但其制造工艺的60%以上是化 学的应用: 如4Mb的动态随机存取和存储器芯片制造 工艺,有164个工艺步骤,其中有118个 依据化学,包括化学合成、化学加工 化学处理等。Chemistry and IC Industry • 超大规模集成电路是信息科学领域的核 心技术，但其制造工艺的60%以上是化 学的应用： 如4Mb的动态随机存取和存储器芯片制造 工艺，有164个工艺步骤，其中有118个 依据化学，包括化学合成、化学加工、 化学处理等