微机电系统的组扆 ■微机械电子系统(微机电系统)的组成: 一般可定义为由微米和纳米加工技术制作而成的,融机、 电、光、磁以及其他相关技术群为一体的,可以活动和 控制的微工程系统。目前,人们泛称其为MEMS。它是 以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器 件组成的、自动化性能高的、可以活动和控制的、机电 合一的微机械装置。 用它进行的操作是极其微细的,有的操作已经到了单个 细胞乃至分子范筹;有的微型敏感元件能敏感到单个原 子,能进行原子量级的探测。如此细微的工作状况,用 肉眼是不能分辨的,必须借助显微术或专用仪器来观察 和控制。微机电系统的组成 ◼ 微机械电子系统(微机电系统)的组成： 一般可定义为由微米和纳米加工技术制作而成的，融机、 电、光、磁以及其他相关技术群为一体的，可以活动和 控制的微工程系统。目前，人们泛称其为MEMS。它是 以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器 件组成的、自动化性能高的、可以活动和控制的、机电 合一的微机械装置。 用它进行的操作是极其微细的，有的操作已经到了单个 细胞乃至分子范筹；有的微型敏感元件能敏感到单个原 子，能进行原子量级的探测。如此细微的工作状况，用 肉眼是不能分辨的，必须借助显微术或专用仪器来观察 和控制