简介 机械与机电系统;宏观机电系统与微机电系统 微机电系统: 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基 本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机 械装置。 特点: 1、学科交叉(力学、机械、电学、光学、电磁学、生 物、化学等学科)2、微型化、集成化和智能化;3 低成本批量化;4、应用广泛(军民两用)5、高新技 术 微机电系统的相关术语: MEMS( Microelectromechanical Systems)(美国) Micro machine(日本)简 介 ◼ 机械与机电系统；宏观机电系统与微机电系统 ◼ 微机电系统： 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基 本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机 械装置。 ◼ 特点： 1、学科交叉（力学、机械、电学、光学、电磁学、生 物、化学等学科）2、微型化、集成化和智能化；3、 低成本批量化；4、应用广泛（军民两用）5、高新技 术。 ◼ 微机电系统的相关术语： MEMS(Microelectromechanical Systems)（美国） Micro Machine （日本） Micro System Technology （欧洲）