化学气相沉积反应的类型 气相输运 如将某一物质先在高温处升华 2CdTe(s)2Cd(g+Te2(g) (T1,72) 然后使其在低温处冷凝的可逆反应 显然,这是一种利用物理现象的过程,但它在设备、物质传 输及反应的热力学、动力学分析方面与CVD过程相似 般来讲,CVD过程的反应式总可以写成 aA(g)+bB(g=cC(s)+dd(g) 的形式,即由一个固相和几个气相构成反应式气相输运 如将某一物质先在高温处升华 2CdTe(s)2Cd(g)+Te2(g) (T1, T2 ) 然后使其在低温处冷凝的可逆反应 显然，这是一种利用物理现象的过程，但它在设备、物质传 输及反应的热力学、动力学分析方面与CVD过程相似 化学气相沉积反应的类型 一般来讲,CVD过程的反应式总可以写成 aA(g)+bB(g)cC(s)+dD(g) 的形式，即由一个固相和几个气相构成反应式