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§6.2实际肖特基势垒高度的调制 6.2.2MS接触中的界面态及其对势垒高度的调制 如果界面态密度很高,费米能级被完全钉扎,则N型和P型 材料所对应的势垒高度分别为: n≈2/3E4≈1/3Eg≈2/3E2-(Ec-E) 实际上,由于很难对E进行理论预测(依赖于工艺),v和p 通常需要通过实验进行测量(将在下两节中进行分析) Nype9en=d。=/3E pinned by氏 P-type E OR=1/3Er pinned by E,§6.2 实际肖特基势垒高度的调制 6.2.2 M/S接触中的界面态及其对势垒高度的调制 如果界面态密度很高,费米能级被完全钉扎,则N型和P型 材料所对应的势垒高度分别为: 实际上,由于很难对 Et 进行理论预测 (依赖于工艺), 和 通常需要通过实验进行测量 (将在下两节中进行分析)。 φBn ≈ 3/2 Eg φ B φ i Bn Eg φ ≅ 3/2 Bp Eg φ ≅ 3/1 φBp ≈ 3/1 Eg φi ≈ − −EEE fCg )(32
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